Tăng trưởng màng Aluminum Oxide trong thiết bị bán dẫn tiên tiến bằng kỹ thuật lắng đọng lớp nguyên tử
Số tạp chí: Số 2 (94) 2026
Tác giả: Nguyễn Phương Tỵ, Trần Minh Hải, Đào Thị Mỹ Linh, Trần Thế Quang
Tạp chí xuất bản: Tạp chí NCKH - ĐH Sao Đỏ
16     0

1  (1)